半導(dǎo)體-晶棒
精確的直徑控制系統(tǒng)，晶棒直徑控制精度高、一致性好！多重PID濾波控制系統(tǒng)，能夠同時實現(xiàn)直徑控制和穩(wěn)定的拉速控制。
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